采(cǎi)用高分辨率(lǜ)成像的明暗场(chǎng)晶圆表(biǎo)面检测,基于图像算法、检测(cè)模型和(hé)良(liáng)品异常检测三(sān)种模式,检出晶圆(yuán)表面缺陷,并提(tí)供数据统计分析
2D检测精确度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏检率
ppm
≤50
先进(jìn)算(suàn)法储备
AI大(dà)模(mó)型与小模型(xíng)融合,支持基于良品和不(bú)良品(pǐn)的模型(xíng)训(xùn)练方式,支持(chí)基于大模型的(de)智慧标注和样(yàng)本生成(chéng),解决(jué)样本不均衡场景下的快速上线,支持增量学习模式,控制样本集规模(mó),提高模型迭代速度,支持并行、并发的处理模式
数据统计和分析功能
用于检测和生(shēng)产过程中的数据统计(jì),提供多(duō)种看板模版;针对指定(dìng)缺陷种类或者指定时(shí)间段,提(tí)供(gòng)多种良率统计方(fāng)式;提供多(duō)种数据保存接口,生(shēng)产(chǎn)过(guò)程可追溯;针(zhēn)对工业场景特点,支持灵(líng)活自由配置显示单元、统计指标、结果查询、导出(chū)、上传逻辑;集成统一、可视(shì)化的多机位硬件(jiàn)接口调试工具,使调试过程(chéng)更加(jiā)便捷
算法特(tè)色
在复杂背景(jǐng)影(yǐng)像中。我们依(yī)然可以将污染正(zhèng)确检出(chū);可(kě)以将特(tè)定特征瑕疵给予消除(chú); 自动产生针痕屏蔽。消除针(zhēn)痕位置,抓取针痕外(wài)的(de)瑕疵