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    晶圆检测设备

    产品简介

    采(cǎi)用高分辨率(lǜ)成像的明暗场(chǎng)晶圆表(biǎo)面检测,基于图像算法、检测(cè)模型和(hé)良(liáng)品异常检测三(sān)种模式,检出晶圆(yuán)表面缺陷,并提(tí)供数据统计分析

    2D检测精确度
    um

    1

    UPH
    pcs/h

    60

    漏检率
    ppm

    ≤50

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